Sebakeng se fetohang ka potlako sa ho boloka filimi e tšesaane,lipheo tsa ho phunya koporo e hloekileng haholoe tswela pele ho bapala karolo ya bohlokwa ho nolofatseng tlhahiso e tswetseng pele ya di-semiconductor, mahlale a pontsho, le ditharollo tsa matla a ntjhafatswang. Ka tlhoko ya lefatshe ya disebediswa tsa elektroniki tse nyane, tse potlakileng, le tse sebetsang hantle tse kgannang boqapi, ho tsamaisa motlakase ho ikgethang ha koporo le ho tsamaellana le ditshebetso tsa mouoane wa mmele (PVD) ho etsa hore dipheo tsena e be tsa bohlokwa haholo. Ha ditheko tsa koporo di ntse di tsitsa maemong a hodimo ka 2026, tlhokomelo ya indasteri e fetohetse ho dipheo tse hlwekileng haholo (4N–6N) tse netefatsang hore difilimi tse tshesane tse se nang sekoli le tlhahiso e ntle ya tshebetso.

Sengoloa sena se hlahloba mefuta e meholo ea lipheo tsa ho qhala koporo, mesebetsi ea tsona e ikhethang, liindasteri tsa bohlokoa tsa ts'ebeliso, le thepa ea thepa e etsang hore koporo e se ke ea nkeloa sebaka maemong a bohlokoa a ts'ebetso e phahameng.

Mefuta e fapaneng ea lipheo tsa ho phunya ka mokhoa o hloekileng haholo, ho kenyeletsoa lipoleiti tse khutlonnetsepa tse chitja, libopeho tse ikhethileng, le likopano tse kopantsoeng tse sebelisoang hangata lits'ebetsong tsa ho phunya ka mokhoa oa magnetron.

Mefuta e Tloaelehileng ea Lipheo tsa ho Hlakola ka Koporo le Mesebetsi ea Tsona

Lipheo tsa ho phunya koporo li etsoa ho latela litlhaloso tse tobileng, hangata ka maemo a bohloeki a 99.99% (4N) ho isa ho 99.9999% (6N), sebopeho sa lithollo tse ntle, le boima bo phahameng (>99%). Mefuta e meholo e kenyelletsa:

1. Lipakane tsa Planar(Lipoleiti tse khutlonnetsepa kapa tse sekwere)Sebopeho se tloaelehileng haholo bakeng sa litsamaiso tse tloaelehileng tsa ho phunya magnetron. Lipheo tsena tse bataletseng li fana ka khoholeho e ts'oanang le ts'ebeliso e phahameng ea thepa lits'ebetsong tsa ho koahela sebakeng se seholo.
2. Lipakane tsa Disiki e Selikalikoe E loketse lipatlisiso, nts'etsopele, le li-cathode tsa tlhahiso tse nyane. Li-disc li fana ka tšebelisano e ntle haholo le li-magnetron tse potolohang kapa tse sa sisinyeheng, tse nolofalletsang taolo e nepahetseng holim'a botenya ba filimi.
3. Lipakane tsa Rotary (Cylindrical kapa Tubular)E etselitsoe litsamaiso tsa magnetron tse potolohang, tsena li lumella sekhahla se phahameng haholo sa tšebeliso ea thepa (ho fihlela ho 80-90%) ha ho bapisoa le lipheo tse planar, e leng se etsang hore li ratoe bakeng sa mela e mengata ea ho roala ea indasteri.
4. Lipakane tse KopantsoengE shebana le lipoleiti tse tšehelitsoeng ka indium kapa elastomer tse tšehelitsoeng ka koporo kapa molybdenum bakeng sa taolo e ntlafetseng ea mocheso le botsitso ba mechini nakong ea ho phatloha ha matla a maholo.

Mefuta ena, e fumanehang ka lipheo tse tloaelehileng le tse ikhethileng tsa ho qhala koporo, e entsoe bakeng sa botsitso bo botle ba plasma, tlhahiso e fokolang ea likaroloana, le sekhahla se tsitsitseng sa ho bokellana.

Liindasteri tsa Bohlokoa tse Sebelisang Lipakane tsa ho Hlakola Koporo ka 2026

Lipheo tsa koporo e hloekileng haholo li bohlokoa makaleng a 'maloa a kholo e phahameng:

• Tlhahiso ea Semiconductor→ Lifilimi tsa koporo li sebetsa e le mekhahlelo ea peo le mekhahlelo ea thibelo lits'ebetsong tsa damascene bakeng sa likhokahano li-node tse tsoetseng pele (sub-5nm).
• Lipontšo tsa Panel e bataletseng→ E sebelisoa ho TFT-LCD, AMOLED, le lipontšo tse tenyetsehang bakeng sa li-electrode tsa heke, mela ea mohloli/drain, le mekhahlelo e bonahatsang.
• Li-photovoltaic→ Bohlokoa bakeng sa lisele tsa letsatsi tse tšesaane tsa CIGS (copper indium gallium selenide) le meaho ea tandem ea perovskite.
• Mabone le Masela a Khabisitsoeng→ E sebelisoa khalaseng ea meralo, liiponeng tsa likoloi, le liphahlo tse thibelang khanya.
• Polokelo ea Lintlha le MEMS→ E hiriloe mecheng ea ho rekota ea makenete le litsamaisong tsa micro-electro-mechanical.

Ka katoloso e tswelang pele ya di-chip tsa AI, meralo ya motheo ya 5G/6G, le matla a ntjhafatswang, tlhokeho ya bokgoni bo tshepahalanglipheo tsa ho phunya koporo e hloekileng haholoe ntse e le matla.

Melemo ea Bohlokoa le Hore na ke Hobane'ng ha Koporo e sa Nke e ka Nkeloa Sebaka

Lipheo tsa ho ntsha koporo ka matheba li fana ka melemo e 'maloa ea tekheniki eo mekhoa e meng e thatafalloang ho e bapisa le eona:

1. Tsamaiso e Phahameng ea Motlakase— Koporo e fana ka resistivity e tlase ka ho fetisisa (~1.68 µΩ·cm) hara dimethale tse tlwaelehileng, e leng se nolofalletsang ho fokotseha ha tieho ya RC le tshebetso e phahameng ya sesebediswa.
2. Filimi e Tšoanang le e Khomarelang ka Botle— Dipheo tse nang le mahlakore a manyane di hlahisa difilimi tse teteaneng, tse nang le sekoli se tlase tse nang le kgaso e ntle ka ho fetisisa dikarolong tse nang le karolelano e phahameng.
3. Ho khanna ho Phahameng ha Thermal— E nolofalletsa ho qhala mocheso ka katleho nakong ea ho qhalana ha metsi, e leng se lumellang matla a mangata le sekhahla se potlakileng sa ho qhalana ha metsi.
4. Ho lumellana le Mekhoa e Teng— Ho kopanngoa ho se nang sekoli ho di-toolsets tsa PVD tse hodileng tse nang le mathata a fokolang a ho thiba kapa a dikarolwana ha ho sebediswa dipheo tsa boleng bo hodimo.
5. Ho Kgolofala ha Ditjeo— Ho sa tsotellehe ditjeo tse phahameng tsa thepa e tala, koporo e fana ka karolelano e ntle ka ho fetisisa ya tshebetso ho ya thekong bakeng sa tlhahiso ya bongata.

Ho se nkeloe sebaka ke lits'ebetso tsa bohlokoa: Le hoja aluminium e ne e sebelisoa historing bakeng sa likhokahano, ho amoheloa ha koporo bofelong ba lilemo tsa bo-1990 (ts'ebetso ea damascene ea IBM) ho ntlafalitse lebelo la chip le katleho ea matla haholo—melemo eo aluminium e ke keng ea e pheta ka lebaka la ho hanyetsa ho phahameng. Mekhoa e meng e kang silevera e na le mathata a ho falla ha motlakase, ha ruthenium kapa cobalt li boloketsoe litšitiso tse tšesaane haholo feela. Likhokahanong tsa semiconductor le lits'ebetsong tsa maqhubu a phahameng, ho nkela koporo sebaka ho ne ho tla eketsa tšebeliso ea matla, tlhahiso ea mocheso le boholo ba ho shoa—e leng se etsang hore e se ke ea nkeloa sebaka ka katleho tlas'a limmapa tsa tsela tsa theknoloji ea hona joale le tse bonoang esale pele.

Pono: Ho Sireletsa Phepelo 'Marakeng o Batloang Haholo

Ha libaka tsa tlhahiso li ntse li tsoela pele ho fihlela ho nepahala ha boemo ba angstrom ka 2026, ho sebelisana le bafani ba thepa ba fanang ka lipheo tsa koporo tse nang le setifikeiti sa bohloeki bo phahameng, taolo e nepahetseng ea lijo-thollo le ho sala morao ka botlalo ho bohlokoa haholo.

Re na le mefuta e mengata e fapaneng ea lipheo tsa ho phunya koporo tse planar, rotary, le tse ikhethileng ka phano e potlakileng le tšehetso ea botekgeniki ea litsebi.khathaloganyo ea sepheo sa ho phunya or ikopanye le litsebi tsa ronabakeng sa ditharollo tse ikgethileng ka ho sebedisa di-semiconductor, pontsho, kapa matla a letsatsi.

Lipheo tsa ho qhala koporo tse hloekileng haholo li ntse li tsoela pele ho matlafatsa mahlale a bopang bokamoso—a fana ka ts'ebetso eo ho seng motho ea ka e nkang sebaka.